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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶去胶
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maying..

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻胶去胶 已有1人参与

我今年研一，刚开始接触还不太懂，请问各位大佬，同时使用s1805光刻胶和sf06光刻胶该怎么去胶呢？我用了丙酮，显影液，感觉还没有去干净。求赐教

@yswyx @dut_ameng 发自小木虫Android客户端
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每天努力一点点
1楼 2019-03-25 10:27:14
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

有机溶剂的话可以用NMP，如果不怕腐蚀的话，可以用强碱溶液。
这些都是基础的知识，你是从研材微纳买的胶吗？他们销售应该直接就能回答你啊。
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3楼2019-04-01 15:11:00
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shijie6356

铁虫 (著名写手)
10%氢氧化钠

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2楼2019-03-30 18:19:16
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maying..

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2019-04-01 15:11:00
有机溶剂的话可以用NMP，如果不怕腐蚀的话，可以用强碱溶液。
这些都是基础的知识，你是从研材微纳买的胶吗？他们销售应该直接就能回答你啊。

谢谢您，我们用了常规的办法，发现没有用，正在找原因。

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每天努力一点点
4楼2019-04-01 20:39:06
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格雷森

新虫 (初入文坛)
怎么用显影液去胶？是做刻蚀工艺吗？我这边做剥离工艺，所以没有坚膜这一步，用光刻胶配套的去胶液或丙酮浸泡都可以去掉，但做刻蚀也做过，如果去胶液能加热一定温度会更容易去胶

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5楼2019-05-29 08:41:43
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