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在同一工艺下不同靶材的沉积速度为什么会不一样?有什么理论知识解释?或者推荐的书?
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最直接的不同材料的熔点不一样,化学活性不一样,就好比很多物质放在一个容器中,具有反应顺序一样
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2019-03-23 09:14:51
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chenwanChina
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2019-03-22 14:03
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