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ws4231153新虫 (小有名气)
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[求助]
磁控溅射Au靶的保护方法已有3人参与
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| 最近实验室准备买一个Au靶用来做电极，用的是JGP-450磁控溅射设备，里面还有其他的介质靶材，老师说Au的扩散能力很强，溅射事会污染到其他靶材，有没有什么方法来保护一下其他靶材呢？比如贴一层Al箔? |
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88033066
铁虫 (初入文坛)
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- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
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