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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料与生态 » 磁控溅射Au靶的保护方法
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ws4231153

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射Au靶的保护方法 已有3人参与

最近实验室准备买一个Au靶用来做电极，用的是JGP-450磁控溅射设备，里面还有其他的介质靶材，老师说Au的扩散能力很强，溅射事会污染到其他靶材，有没有什么方法来保护一下其他靶材呢？比如贴一层Al箔?
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1楼 2019-03-15 14:36:25
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诸葛阿毛

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
卸靶&装靶麻烦且容易出问题，，铝箔在真空中存在放气隐患，建议做靶挡板或者靶罩子。
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勤学如春起之苗,不见其增日有所长.缀学如磨刀之石,不见其损日有所亏：zhgamao
3楼2019-03-16 08:50:46
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匿名

本帖仅楼主可见
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2楼2019-03-15 21:37:18
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
其他靶不用，可以用铝箔纸包起来，记住不要通电
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
4楼2019-03-18 09:52:55
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Everest_lI

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

在Au靶周围加一层挡板，溅射的时候其他靶位盖上锡箔

发自小木虫Android客户端
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5楼2019-04-27 17:44:51
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