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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 离子注入金属离子
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kin123321

新虫 (初入文坛)

[交流] 离子注入金属离子

请问离子注入铟，铝，铪，镁等离子用什么源？氯化物或者氟化物吗？或者有什么网站或者文献可以查到这些信息？搜了很久也没搜到相关信息，希望大家指教，谢谢！

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1楼 2019-03-12 19:19:27
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cneo

铜虫 (著名写手)
★
kin123321(金币+1): 谢谢参与
是用溅射？
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10楼2019-03-13 09:55:10
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Bunnyyyyy

禁虫 (正式写手)
★
kin123321(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
14楼2019-03-14 18:36:58
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283921142

金虫 (著名写手)
★
kin123321(金币+1): 谢谢参与
我只能吸附这些金属离子
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16楼2019-05-08 14:46:17
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月下冰魂

木虫 (正式写手)
★
kin123321(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
14楼: Originally posted by Bunnyyyyy at 2019-03-14 18:36:58
我这能做离子注入，但是还没有这些离子源呢，H, He 可以吗？

请问可以注入氧吗？谢谢
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17楼2020-09-29 14:33:34
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雨轩362楼
2019-03-12 19:38   回复  
kin123321(金币+1): 谢谢参与
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tzynew3楼
2019-03-12 19:48   回复  
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伽鲁特4楼
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5988781575楼
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youngen6楼
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zhaoyan19787楼
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xiaoqiuqiu208楼
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miaojiabing9楼
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nono200911楼
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Biotage12楼
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sz_kebaoyuan13楼
2019-03-14 12:30   回复  
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youngen15楼
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LifePursuit18楼
2020-09-29 19:41   回复  
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