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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 离子注入金属离子
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kin123321

新虫 (初入文坛)

[交流] 离子注入金属离子

请问离子注入铟，铝，铪，镁等离子用什么源？氯化物或者氟化物吗？或者有什么网站或者文献可以查到这些信息？搜了很久也没搜到相关信息，希望大家指教，谢谢！

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1楼2019-03-12 19:19:27
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cneo

铜虫 (著名写手)
★
kin123321(金币+1): 谢谢参与
是用溅射？
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10楼2019-03-13 09:55:10
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