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sdlklfx

铜虫 (初入文坛)

[交流] 求05年的一个面上项目摘要

项目编号:10502008/A020308
项目名称:基于SPM及MEMS技术的薄膜力学性能测试方法研究
项目负责人:李直
单位:北京理工大学
资助经费:28万
项目日期:2006.1-2008.12

谢谢!
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jiminar

金虫 (正式写手)

项目详情
项目编号 10502008
项目名称 基于SPM及MEMS技术的薄膜力学性能测试方法研究  
项目类型 青年科学基金项目   
申报学科1 (A020308)  
研究性质   
资助金额 28.00万元
开始日期 2006年1月1日  
完成日期 2008年12月31日   
项目摘要 研究一种基于微拉伸(micro-tensile)原理的薄膜力学性能测试方法,以单层及多层自由(free-standing)薄膜为测试对象,以MEMS致动器为加载部件,应变则由扫描探针显微镜(SPM)实时在位测得。藉由微应力及微应变的高分辨率高精度测量,该方法能够大大提高薄膜材料力学性能测试的分辨率和精度。同时,该方法获得的微观材料轴向应力-应变关系数据,可以对其它薄膜力学性能测试方法,特别是现有的大量使用的商用纳米压痕仪/硬度计、激光声波测试仪等进行校准、标定和进一步开发。可以预计,本项目的开展,对改善薄膜质量控制,进而提高我国当前MEMS及其它微纳米元件的设计与制造水平起到良好的推动作用。  
获资助单位 北京理工大学(项目负责人)
2楼2009-05-12 12:14:03
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jiaminl

铁杆木虫 (知名作家)

友情支持
Nevergiveup!
3楼2009-05-14 00:04:04
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xdz1978

至尊木虫 (文坛精英)

持之以恒!

好人呢!
一身正气,两袖清风,三餐温饱,四大皆空!
4楼2009-05-20 18:06:05
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