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[交流]
求05年的一个面上项目摘要
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项目编号：10502008/A020308 项目名称：基于SPM及MEMS技术的薄膜力学性能测试方法研究 项目负责人：李直 单位：北京理工大学 资助经费：28万 项目日期：2006.1-2008.12 谢谢！ |
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项目详情 项目编号 10502008 项目名称 基于SPM及MEMS技术的薄膜力学性能测试方法研究 项目类型 青年科学基金项目 申报学科1 (A020308) 研究性质 资助金额 28.00万元 开始日期 2006年1月1日 完成日期 2008年12月31日 项目摘要 研究一种基于微拉伸（micro-tensile）原理的薄膜力学性能测试方法，以单层及多层自由（free-standing）薄膜为测试对象，以MEMS致动器为加载部件，应变则由扫描探针显微镜（SPM）实时在位测得。藉由微应力及微应变的高分辨率高精度测量，该方法能够大大提高薄膜材料力学性能测试的分辨率和精度。同时，该方法获得的微观材料轴向应力－应变关系数据，可以对其它薄膜力学性能测试方法，特别是现有的大量使用的商用纳米压痕仪/硬度计、激光声波测试仪等进行校准、标定和进一步开发。可以预计，本项目的开展，对改善薄膜质量控制，进而提高我国当前MEMS及其它微纳米元件的设计与制造水平起到良好的推动作用。 获资助单位 北京理工大学(项目负责人) |
2楼2009-05-12 12:14:03
jiaminl
铁杆木虫 (知名作家)
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3楼2009-05-14 00:04:04
xdz1978
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4楼2009-05-20 18:06:05
