应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 厚胶4620刻蚀中剥落
211/1返回列表
查看: 836  |  回复: 20
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

czcdxmc

木虫 (正式写手)
已领完
厚胶4620刻蚀中剥落
领取红包 (小木虫手机app专属红包)

扫一扫，下载小木虫客户端

使用4620光刻胶做掩膜，在刻蚀si过程中出现剥落的情况，剥落的形状为分立的一个个小坑。是由于烘烤时间不足，光刻胶太湿导致的吗？

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2019-03-08 09:04:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
部分原因是的。但更大的原因是设备本身能力问题，冷却不够好。
赞一下 回复此楼
20楼2019-03-13 13:53:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gyxzby

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
干法刻蚀，等离子体辉光，光刻胶烘烤不充分或者湿度控制不当，造成光刻胶二次曝光，产生氮气，产生光刻胶破洞。你自己查一下这个文献：感应耦合等离子体干法刻蚀中光刻胶掩模的异常性
赞一下(1人) 回复此楼
21楼2019-03-19 16:38:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
hdchina20102楼
2019-03-08 09:04   回复  
czcdxmc(金币+4): 谢谢参与
已获得4个金币 发自小木虫IOS客户端
且行且忆3楼
2019-03-08 09:05   回复  
czcdxmc(金币+5): 谢谢参与
已获得5个金币 发自小木虫IOS客户端
tzynew4楼
2019-03-08 09:06   回复  
czcdxmc(金币+3): 谢谢参与
已获得3个金币 发自小木虫Android客户端
zfpd27665楼
2019-03-08 09:07   回复  
czcdxmc(金币+5): 谢谢参与
已获得5个金币 发自小木虫Android客户端
xwpm226楼
2019-03-08 09:07   回复  
czcdxmc(金币+2): 谢谢参与
已获得2个金币 发自小木虫IOS客户端
cffyau7楼
2019-03-08 09:08   回复  
czcdxmc(金币+3): 谢谢参与
已获得3个金币 发自小木虫Android客户端
Boogie-Back8楼
2019-03-08 09:11   回复  
czcdxmc(金币+4): 谢谢参与
已获得4个金币 发自小木虫Android客户端
格林的童话9楼
2019-03-08 09:15   回复  
czcdxmc(金币+2): 谢谢参与
已获得2个金币 发自小木虫Android客户端
倾偌闲10楼
2019-03-08 09:17   回复  
czcdxmc(金币+2): 谢谢参与
已获得2个金币 发自小木虫Android客户端
翰军11楼
2019-03-08 09:19   回复  
czcdxmc(金币+2): 谢谢参与
已获得2个金币 发自小木虫IOS客户端
张锴珉12楼
2019-03-08 09:19   回复  
czcdxmc(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫Android客户端
zxf98413楼
2019-03-08 09:19   回复  
czcdxmc(金币+2): 谢谢参与
已获得2个金币 发自小木虫Android客户端
筱懿灵轩14楼
2019-03-08 09:20   回复  
czcdxmc(金币+5): 谢谢参与
已获得5个金币 发自小木虫IOS客户端
dlli201415楼
2019-03-08 09:22   回复  
czcdxmc(金币+2): 谢谢参与
已获得2个金币 发自小木虫Android客户端
李小罗16楼
2019-03-08 09:24   回复  
czcdxmc(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫Android客户端
王光辉199117楼
2019-03-08 09:25   回复  
czcdxmc(金币+4): 谢谢参与
已获得4个金币 发自小木虫Android客户端
panpan540318楼
2019-03-08 09:29   回复  
czcdxmc(金币+2): 谢谢参与
已获得2个金币 发自小木虫Android客户端
陈和冬47510819楼
2019-03-08 09:29   回复  
czcdxmc(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
相关版块跳转 我要订阅楼主 czcdxmc 的主题更新
211/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭