应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 腐蚀玻璃凹槽的掩膜选择
41/1返回列表
查看: 902  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

丘米哈哈

新虫 (初入文坛)

[求助] 腐蚀玻璃凹槽的掩膜选择 已有1人参与

想要在玻璃上用湿法腐蚀出一些凹槽，深度在150微米左右。现在的想法使用SiN或者Au做掩膜。有没有做过类似的大神推荐一下有什么好的掩膜及腐蚀溶液吗？

@yswyx 发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2019-02-21 19:29:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

MEMSlee
HF

发自小木虫Android客户端
2楼2019-02-22 21:54:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

一般用Cr做掩膜。腐蚀溶液肯定是HF。
但是，因为湿法腐蚀的侧向会很严重，所以图形会有很大的斜坡，一般能控制在45°就不错了。底部也会很粗糙。
赞一下 回复此楼
3楼2019-03-13 14:17:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
@我的我都看不到的。因为不用手机回复，而且上小木虫的频率很低。所以问的问题最好是直接短消息。
赞一下 回复此楼
4楼2019-03-13 14:18:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 丘米哈哈 的主题更新
41/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4 +3 7mzg0e04z2 2026-03-06 5/250 2026-03-07 17:20 by i6un4pi8fv
[考研] 2026调剂】考试A区0703化学类323分 诚求接收 +3 卷柏卷柏 2026-03-05 4/200 2026-03-07 17:00 by yuandd_2001
[硕博家园] 售渎SCI文章，我:8⊙ 55 1⊙ 54。备注【⊙=0】 +4 vs9ky3szrj 2026-03-06 6/300 2026-03-07 16:43 by i6un4pi8fv
[硕博家园] 售渎SCI文章，我:8⊙ 55 1⊙ 54。备注【⊙=0】 +4 dp852vdfql 2026-03-06 6/300 2026-03-07 16:28 by i6un4pi8fv
[考博] 售渎SCI文章，我:8⊙ 55 1⊙ 54。备注【⊙=0】 +4 ipys00zm58 2026-03-06 6/300 2026-03-07 00:30 by vwchyxxzm4
[考研] 266材料化工求调剂 +5 哇塞王帅 2026-03-03 5/250 2026-03-06 16:44 by 学员FnSWZj
[考博] 2026年博士名额捡漏 +4 科研ya 2026-03-04 7/350 2026-03-06 16:05 by 科研ya
[考研] 070300化学 280 一志愿太原理工 求调剂 +8 拾玖壹 2026-03-04 8/400 2026-03-05 08:52 by anny19840123
[考研] 求调剂院校 +6 云朵452 2026-03-02 12/600 2026-03-04 23:17 by 云朵452
[考研] 0703化学 一志愿东北大学 279分求调剂 +4 聂乐平 2026-03-03 4/200 2026-03-04 16:31 by zhukairuo
[考研] 331求调剂 +3 zzZ&zZ 2026-03-03 3/150 2026-03-04 10:37 by aaa显卡批发王总
[考研] 0703化学学硕 288分 +4 旅行中的紫葡萄 2026-03-03 4/200 2026-03-03 23:41 by ch1979
[考研] 291求调剂 +4 Afy123456 2026-03-03 7/350 2026-03-03 22:29 by barlinike
[考研] 290求调剂 +9 ErMiao1020 2026-03-02 9/450 2026-03-03 18:03 by linlonghao
[考研] 【2026 硕士调剂】课题组 招收调剂生 +3 考研版棒棒 2026-03-02 5/250 2026-03-03 01:45 by kkky.
[考研] 261求调剂 +3 陆lh 2026-03-01 3/150 2026-03-02 19:32 by zhukairuo
[基金申请] 此成果不能导入原因：元数据必填信息不完整，可 进行补充。 +4 Kittylucky 2026-03-02 5/250 2026-03-02 11:07 by jurkat.1640
[考研] 化工专硕342，一志愿大连理工大学，求调剂 +6 kyf化工 2026-02-28 7/350 2026-03-02 10:56 by 无际的草原
[基金申请] 刚录用，没有期刊号，但是在线可看的论文可以放为代表作吗 10+3 arang1 2026-03-01 3/150 2026-03-01 16:43 by babero
[考研] 311求调剂 +6 亭亭亭01 2026-03-01 6/300 2026-03-01 15:41 by 324616
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭