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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 腐蚀玻璃凹槽的掩膜选择
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丘米哈哈

新虫 (初入文坛)

[求助] 腐蚀玻璃凹槽的掩膜选择 已有1人参与

想要在玻璃上用湿法腐蚀出一些凹槽，深度在150微米左右。现在的想法使用SiN或者Au做掩膜。有没有做过类似的大神推荐一下有什么好的掩膜及腐蚀溶液吗？

@yswyx 发自小木虫Android客户端
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1楼 2019-02-21 19:29:14
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MEMSlee
HF

发自小木虫Android客户端
2楼2019-02-22 21:54:39
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

一般用Cr做掩膜。腐蚀溶液肯定是HF。
但是，因为湿法腐蚀的侧向会很严重，所以图形会有很大的斜坡，一般能控制在45°就不错了。底部也会很粗糙。
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3楼2019-03-13 14:17:43
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
@我的我都看不到的。因为不用手机回复，而且上小木虫的频率很低。所以问的问题最好是直接短消息。
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4楼2019-03-13 14:18:51
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