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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 实验技术 » 【求助】如何去除硅表面的氧化层？
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zhangletao1986

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】如何去除硅表面的氧化层？

想在硅片上做一层氧化物，需要去除表面的氧化层，只知道用HF酸，但具体的腐蚀时间和浓度不太清楚。
请高手赐教。
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1楼 2009-05-08 22:04:28
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飞向彼岸

铜虫 (小有名气)
★ ★
heavence007(金币+1,VIP+0):谢谢应助 7-29 00:48
zhangletao1986(金币+1,VIP+0): 7-29 11:33
氢氧化钠也行。
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横渡苦海，通达彼岸。
2楼2009-07-28 20:58:39
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aylizheng

木虫 (正式写手)

萤火虫
★ ★
heavence007(金币+1,VIP+0):谢谢应助 7-29 00:49
zhangletao1986(金币+1,VIP+0): 7-29 11:33
用的是硝酸和HF酸
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3楼2009-07-28 22:18:31
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jiangfuxue

木虫 (正式写手)
★ ★
chemcccc(金币+1,VIP+0):thx 7-29 10:09
zhangletao1986(金币+1,VIP+0): 7-29 11:33
可直接用氢氧化钠溶液
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4楼2009-07-29 07:42:06
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yangjf

铁杆木虫 (著名写手)
好像HF只和氧化层反应吧
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5楼2009-08-02 21:35:48
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