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knightshui木虫 (小有名气)
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石英衬底上生长多晶硅薄膜的问题
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| 这两天在石英衬底上，CVD多晶硅薄膜，膜长得还行，就是后扩散硼，1000度，1个小时，测不出方块电阻，开始以为是石英抛光后太光滑，就用HF腐蚀成毛面了，但是还是不行，测不出来方块电阻。同时在热生长二氧化硅上长得薄膜掺硼后可以测出方块电阻。求教各位原因。 |
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