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请问碳空位的分布或浓度如何表征
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请问碳空位的分布或浓度如何表征
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制备的SiC表面可能存在碳空位,请问有什么测试方法可以用来表征这部分碳空位的多少?或者浓度?分布状态什么的。
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2019-01-04 09:31:30
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拜托,不要沉。请问有人知道碳空位该怎样表征嘛?浓度、分布等等参数任一个能测到的都ok啊
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2楼
2019-01-05 16:32:25
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有看到氧空位说可以用电子顺磁共振测试,不知道有没有人了解碳空位是不是也可以用这种方法。
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3楼
2019-01-07 11:33:36
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有没有了解的同学可以帮忙给个方向
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4楼
2019-01-08 17:50:43
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2019-01-09 16:53:58
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Andydu77
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【答案】应助回帖
可以用XPS 测试,同时提供您认为的正常样品,对比图谱,扫描全谱和C,Si精细谱,根据测试数据然后解析得出结果。
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6楼
2019-01-09 17:24:45
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:
Originally posted by
Andydu77
at 2019-01-09 18:24:45
可以用XPS 测试,同时提供您认为的正常样品,对比图谱,扫描全谱和C,Si精细谱,根据测试数据然后解析得出结果。
没有正常的样品,只有空位多和空位少的样品。可否麻烦您详细说一下怎么解析,是精细谱的峰值比例有区别还是多峰少峰呢?
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7楼
2019-01-10 15:06:24
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Andydu77
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7楼
:
Originally posted by
Tonia0
at 2019-01-10 15:06:24
没有正常的样品,只有空位多和空位少的样品。可否麻烦您详细说一下怎么解析,是精细谱的峰值比例有区别还是多峰少峰呢?...
不知您的样品时什么状态,国内SiC的膜制作还很少,所以相关研究成果资料也很少,我说的方法是需要一个对比样品来作为分峰对比,相当于是建立一个参考线,然后对测试样品峰值分析得出结果。如有需要我可以帮您做。
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8楼
2019-01-10 17:10:39
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梦醒了heaven
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专业: 半导体物理
请问你是如果确定表面是碳空位很多呢?
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9楼
2019-01-26 16:12:15
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Witch永
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专业: 凝聚态物性 II :电子结构
你好,我也想表征C空位,请问你找到方法了吗,我听说ESR可以表征缺陷,具体我也不太明白
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10楼
2019-04-12 11:25:09
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