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kele00

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射镀膜一会儿起辉一会儿不起辉 已有4人参与

用氧化镍靶材磁控溅射镀膜过程中起辉后很快就灭辉,然后关掉射频功率后重新开又可以起辉,但是一会儿又没了,这样反复,请求各位大神帮忙解答。

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sky小王子

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
排查压强
1.磁场强度不够
2.靶材是铁磁性或者靶材过厚

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8楼2019-04-12 19:31:23
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cowboysling

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
1.起辉的气压是否正确
2.靶材表面是否有氧化或者杂质在表面
3.起辉的电压电流稳定性

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2楼2018-12-28 07:53:43
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野人禾禾

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
辉光不能维持,气压不够或者磁场不够,也可能匹配箱自动匹配不到位
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
3楼2018-12-28 17:45:24
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kele00

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-12-28 17:45:24
辉光不能维持,气压不够或者磁场不够,也可能匹配箱自动匹配不到位

请问气压一般是多少呢,我之前用的2pa

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4楼2018-12-28 21:25:25
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