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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射镀膜一会儿起辉一会儿不起辉
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kele00

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射镀膜一会儿起辉一会儿不起辉 已有4人参与

用氧化镍靶材磁控溅射镀膜过程中起辉后很快就灭辉，然后关掉射频功率后重新开又可以起辉，但是一会儿又没了，这样反复，请求各位大神帮忙解答。

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1楼 2018-12-27 21:16:42
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cowboysling

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
1.起辉的气压是否正确
2.靶材表面是否有氧化或者杂质在表面
3.起辉的电压电流稳定性

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2楼2018-12-28 07:53:43
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
辉光不能维持，气压不够或者磁场不够，也可能匹配箱自动匹配不到位
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2018-12-28 17:45:24
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kele00

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-12-28 17:45:24
辉光不能维持，气压不够或者磁场不够，也可能匹配箱自动匹配不到位

请问气压一般是多少呢，我之前用的2pa

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4楼2018-12-28 21:25:25
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kele00

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by cowboysling at 2018-12-28 07:53:43
1.起辉的气压是否正确
2.靶材表面是否有氧化或者杂质在表面
3.起辉的电压电流稳定性

好的，谢谢

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5楼2018-12-28 21:26:16
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by kele00 at 2018-12-28 14:25:25
请问气压一般是多少呢，我之前用的2pa
...

2pa 确实已经很高了，一般1pa已经算高 的了。
排除 气压，那很可能就是磁场强度了，不知道你在沉积金属的时候电压高不高？更直接的当然是高斯计测水平分量。
辉光不能维持，你这种现象更像在溅射磁性材料。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
6楼2019-01-03 10:41:59
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骑蚂蚁

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
用射频靶时，要观察气体流量计，气压可能会突然下降，然后就起辉失败。
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7楼2019-01-08 10:59:48
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sky小王子

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
排查压强
1.磁场强度不够
2.靶材是铁磁性或者靶材过厚

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8楼2019-04-12 19:31:23
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