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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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shanhaiyan9185

[交流] 【求助】磁控溅射中的问题

请问:磁控溅射中的工作气压的范围大体在什么范围?  
  我现在用的是0.4P,不知道其他合适的工作气压还有哪些?
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flbwlx

铁杆木虫 (职业作家)

单身家族之“大总管”

★ ★
dawnlight(金币+2,VIP+0):3x,欢迎常来 4-30 21:31
磁控溅射中的工作气压是你做不同材料的薄膜遗迹不同条件下都是不同的,气压是你自己定的,合适的气压多了啊,我们这里做实验的工作气压范围就是为0.2~8.0Pa之间,关键看你自己的条件而定
2楼2009-04-30 20:56:20
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754587461

木虫 (初入文坛)

我现在用的是0.3P
3楼2009-09-11 08:56:24
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cjw796

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
根据我接触过的磁控溅射设备,可以在0。05Pa-30Pa的范围内工作,但这并不意味着你的设备都可以在这个范围内工作,和腔体的结构,靶间距,功率等很多因素有关,所以关键是根据你的要求和设备的可调范围来确定。
4楼2009-09-11 23:23:24
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