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【求助】磁控溅射中的问题
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请问：磁控溅射中的工作气压的范围大体在什么范围？ 我现在用的是0.4P，不知道其他合适的工作气压还有哪些？ |
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木虫 (初入文坛)
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3楼2009-09-11 08:56:24