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liqingyan216

新虫 (初入文坛)

[交流] 氧化硅漏电怎么解决? 已有1人参与

硅片上面有一层300nm氧化硅,蒸镀上Au电极,Au和硅导电,怎么解决?

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MEMSlee

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氧化层是热氧还是pe做的

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2楼2018-12-20 22:57:59
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liqingyan216

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by MEMSlee at 2018-12-20 22:57:59
氧化层是热氧还是pe做的

买的带300nm氧化硅的

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3楼2018-12-20 23:33:38
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MEMSlee

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4楼2018-12-21 00:24:38
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