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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 氧化硅漏电怎么解决？
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liqingyan216

新虫 (初入文坛)

[交流] 氧化硅漏电怎么解决？ 已有1人参与

硅片上面有一层300nm氧化硅，蒸镀上Au电极，Au和硅导电，怎么解决？

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1楼 2018-12-20 20:47:31
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
氧化层是热氧还是pe做的

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2楼2018-12-20 22:57:59
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liqingyan216

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MEMSlee at 2018-12-20 22:57:59
氧化层是热氧还是pe做的

买的带300nm氧化硅的

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3楼2018-12-20 23:33:38
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
那就不好解释了

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4楼2018-12-21 00:24:38
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