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LCZ法拉制单晶硅
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| 各位虫友,有没有人了解LCZ法拉制单晶硅的?日本研制了一种石英坩埚(Liquinert crucible),对坩埚内层进行Liquinert处理,使其不易与熔硅反应,能够提高硅片少子寿命。关于这个Liquinert法,不是很了解,有知道的虫友,麻烦留言,请教一下相关的知识。 |
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