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jichenxi0730

铁虫 (小有名气)

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[交流] 一维光栅结构在周期凹槽深度和宽度都特别大的时候，麦克斯韦方程组还适用吗？已有2人参与

想请教大神们一个问题，比如一维光栅结构的周期，凹槽深度宽度都特别大的时候，麦克斯韦方程组还适用吗？我一个程序，RCWA算出来的大结构，RTA都不变了，可是我试验测这种大的，周期53（或100μm），深度10μm（或15μm），槽宽13μm（或25μm）的光栅结构，发射率都是明显增加的。我有些搞不懂了，，，，

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1楼 2018-12-14 08:30:29

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hustoe2011

至尊木虫 (文坛精英)

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Maxwell方程组适用于经典情形，
若结构尺寸比较小，达到纳米尺度，量子效应比较显著时，有些现象可能用Maxwell方程无法解释。
而你刻的光栅尺度比较大，微米量级，所以不用怀疑Maxwell方程的适用性。

你没提到的是入射波的波长多大？
1）若入射波波长相对于光栅周期较小，用不着RCWA计算，经典的菲涅尔标量衍射理论就够了；
2）若入射波波长与光栅周期相比拟，RCWA算法比较有效。
这时，请以实验测得的结果为准，若计算结果与实验结果差异较大，请检查自己的计算程序是否有误。
3）若入射波波长远大于光栅周期，用平均有效介质理论来计算比较方便。