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jichenxi0730铁虫 (小有名气)
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[交流]
一维光栅结构在周期凹槽深度和宽度都特别大的时候,麦克斯韦方程组还适用吗? 已有2人参与
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想请教大神们一个问题,比如一维光栅结构的周期,凹槽深度宽度都特别大的时候,麦克斯韦方程组还适用吗?我一个程序,RCWA算出来的大结构,RTA都不变了,可是我试验测这种大的,周期53(或100μm),深度10μm(或15μm),槽宽13μm(或25μm)的光栅结构,发射率都是明显增加的。我有些搞不懂了,,,, 发自小木虫IOS客户端 |
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Maxwell方程组适用于经典情形, 若结构尺寸比较小,达到纳米尺度,量子效应比较显著时,有些现象可能用Maxwell方程无法解释。 而你刻的光栅尺度比较大,微米量级,所以不用怀疑Maxwell方程的适用性。 你没提到的是入射波的波长多大? 1)若入射波波长相对于光栅周期较小,用不着RCWA计算,经典的菲涅尔标量衍射理论就够了; 2)若入射波波长与光栅周期相比拟,RCWA算法比较有效。 这时,请以实验测得的结果为准,若计算结果与实验结果差异较大,请检查自己的计算程序是否有误。 3)若入射波波长远大于光栅周期,用平均有效介质理论来计算比较方便。 |

3楼2018-12-16 11:42:21













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