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jichenxi0730

铁虫 (小有名气)

[交流] 一维光栅结构在周期凹槽深度和宽度都特别大的时候,麦克斯韦方程组还适用吗? 已有2人参与

想请教大神们一个问题,比如一维光栅结构的周期,凹槽深度宽度都特别大的时候,麦克斯韦方程组还适用吗?我一个程序,RCWA算出来的大结构,RTA都不变了,可是我试验测这种大的,周期53(或100μm),深度10μm(或15μm),槽宽13μm(或25μm)的光栅结构,发射率都是明显增加的。我有些搞不懂了,,,,

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aaq2800

铁杆木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这根麦克斯韦方程组有关系么?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2018-12-15 08:13:07
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hustoe2011

至尊木虫 (文坛精英)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
Maxwell方程组适用于经典情形,
若结构尺寸比较小,达到纳米尺度,量子效应比较显著时,有些现象可能用Maxwell方程无法解释。
而你刻的光栅尺度比较大,微米量级,所以不用怀疑Maxwell方程的适用性。

你没提到的是入射波的波长多大?
1)若入射波波长相对于光栅周期较小,用不着RCWA计算,经典的菲涅尔标量衍射理论就够了;
2)若入射波波长与光栅周期相比拟,RCWA算法比较有效。
这时,请以实验测得的结果为准,若计算结果与实验结果差异较大,请检查自己的计算程序是否有误。
3)若入射波波长远大于光栅周期,用平均有效介质理论来计算比较方便。
随心所欲不逾矩
3楼2018-12-16 11:42:21
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