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caoning1982至尊木虫 (正式写手)
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【求助】关于类金刚石薄膜的问题
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请问有没有做类金刚石薄膜的啊？ 我们正在探索采用等离子辅助CVD做这种薄膜，可是薄膜中sp3型碳含量太低，不到10%,而且氧含量很高，请问应如何调整啊？我们通常采用的碳源气体是丁烷和乙炔，等离子气是氩气。谢谢各位了。 [ Last edited by caoning1982 on 2009-4-25 at 15:36 ] |
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wenyun0876
木虫 (正式写手)
老木虫
- 应助: 6 (幼儿园)
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caoning1982(金币+4,VIP+0):好的 5-8 09:53
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青岛科技大学材料学院有老师在做，据说做得还可以。你去查了问问 http://cl.qust.edu.cn/ |
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