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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射
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xxy2016

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射 已有9人参与

想请问下，磁控溅射靶材在下，基片在上是如何设置的呢？基片不会掉落吗？有做过的大神请给讲述下，十分感谢！
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1楼 2018-11-14 13:58:53
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小米0锅巴

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
有防护板的，此外在镀膜的时候是会有一些逆向膜脱落的，但是靶材厂商都是有相对应的工艺来防止的
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14楼2018-12-21 11:54:42
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木子海南

银虫 (职业作家)
有架子固定的

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2楼2018-11-14 14:22:21
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鲸鱼先生

木虫 (著名写手)

一条大鱼
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
也可以导电双面胶粘上。

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新的奋斗天天开始
3楼2018-11-14 20:46:43
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理工小伟

木虫 (著名写手)
有基片夹

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精于勤 荒于嬉
4楼2018-11-15 07:35:47
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