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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 在金上用pecvd做氮化硅
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ws4231153

新虫 (小有名气)

[求助] 在金上用pecvd做氮化硅 已有2人参与

之前在金上用pecvd做了大概100nm氮化硅，但做出来氮化硅好像不均匀，金也出现破裂的现象，有什么方法改善吗

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1楼 2018-11-13 15:55:31
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以再做呀。做时间长一些，均匀一些。
赞一下 回复此楼
2楼2018-11-13 17:34:09
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QQ550303332

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
3楼2019-01-08 16:16:10
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