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请教一个化学抛光的问题
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半导体晶片的加工过程一般分为：机械抛光、化学抛光两个阶段。 化学抛光一般用的非择优腐蚀液。另外要观察腐蚀花样的话，就需要用择优腐蚀液，通常称为腐蚀。 我的问题，在机械抛光之后，晶片表面非常光整，非常干净。但是经过化学抛光，晶片表面每次都出现了一些白色的点（大概10-20个左右）。超声清洗也洗不掉，不敢用其他的东西去搽。请教大家一下，这些白点究竟是什么？过腐蚀？？？还是什么？ |
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