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yuh1984木虫 (著名写手)
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[交流]
【求助】磁控溅射镀膜的影响因素！
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请教大虾关于磁控溅射镀膜的影响因素！例如：生长功率，生长压强，本体压强，靶基距。究竟这些通过影响什么来影响薄膜生长的。还有就是靶材材料究竟是以何种形式打到薄膜上的，是原子还是离子团还是材料不同结果不一样。 我在百度查过，但是感觉不是很详细。 请大虾们以亲身实验告诉小弟，或者给点资料也行。 |
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 铁电材料 | 薄膜材料的表征 | 薄膜材料和器件制备 |
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三维网上《真空材料》、《磁控溅射技术》两本书很好可惜没有权限看！
14楼2009-08-09 08:49:15