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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】ZAO镀膜发黑？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

[交流] 【求助】ZAO镀膜发黑？

我们用射频磁控溅射、ZnO掺铝靶，溅射在玻璃衬底上做ZAO透明导电膜，最近的实验发现薄膜有点发黑，有的地方时一坨黑。以前没有过，不知道为什么？
有虫友能给一个解答，或者改进方案吗？
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1楼 2009-04-14 10:32:12
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

好像有点像是衬底没有清洗干净，因为发现衬底背面也有发黑的，但是清洗中用到了酒精 丙酮 能是什么东西？

我也是在猜，还期待确切答案。

[ Last edited by ddx-k on 2009-4-14 at 20:58 ]
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2楼2009-04-14 16:25:26
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eagle888

金虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★
ddx-k(金币+1,VIP+0):谢谢交流。能说详细点吗？比如你们遇到类似问题，or你也是猜想？ 4-14 20:57
ddx-k(金币+4,VIP+0):谢谢！ 4-16 09:09
可能是AZO靶掉渣了
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3楼2009-04-14 18:21:33
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monkey169

金虫 (小有名气)
是不缺氧啊，你在什么氧气压下沉积的啊，一般氧化锌材料缺氧时会呈暗黑
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4楼2009-04-27 10:31:34
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