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【求助】ZAO镀膜发黑？
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我们用射频磁控溅射、ZnO掺铝靶，溅射在玻璃衬底上做ZAO透明导电膜，最近的实验发现薄膜有点发黑，有的地方时一坨黑。以前没有过，不知道为什么？ 有虫友能给一个解答，或者改进方案吗？ |
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