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[交流]
反应离子刻蚀玻璃时表面会发白
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| 跟大家交流个问题，我用反应离子刻蚀表面具有金掩膜版的玻璃时，时间一长，表面会有发白的现象（强光下）。我尝试用Piranha溶液清洗也清洗不掉，想问问可否有人有相关经验，这个白色是由于我的结构导致的光的反射折射现象还是由于CF4刻蚀的时候产生的一些氟化的产物，该如何去除，希望有经验的大佬提醒一下。 |
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