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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 反应离子刻蚀玻璃时表面会发白
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_Lynch_

铁虫 (初入文坛)

[交流] 反应离子刻蚀玻璃时表面会发白

跟大家交流个问题，我用反应离子刻蚀表面具有金掩膜版的玻璃时，时间一长，表面会有发白的现象（强光下）。我尝试用Piranha溶液清洗也清洗不掉，想问问可否有人有相关经验，这个白色是由于我的结构导致的光的反射折射现象还是由于CF4刻蚀的时候产生的一些氟化的产物，该如何去除，希望有经验的大佬提醒一下。
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1楼 2018-11-01 20:03:57
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
_Lynch_(金币+1): 谢谢参与
是玻璃发白还是金属表面发白？高倍显微镜下有观察出什么结果？
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22楼2018-11-07 16:42:27
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dongmings2楼
2018-11-01 20:33   回复  
_Lynch_(金币+1): 谢谢参与
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199411cjy3楼
2018-11-01 21:02   回复  
_Lynch_(金币+1): 谢谢参与
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kingluck4楼
2018-11-01 21:20   回复  
_Lynch_(金币+1): 谢谢参与
nono200910楼
2018-11-01 22:18   回复  
_Lynch_(金币+1): 谢谢参与
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