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polaris953

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】氮气在Si氧化中的作用

Si氧化时先在氧化炉中通入氮气,然后再通氧气进行氧化,这个氮气具体作用都有哪些啊?

不通氮气,直接通氧气,然后放片子再氧化,可以吗?会有什么差别?
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大雪人

木虫 (正式写手)

★
polaris953(金币+1,VIP+0):谢谢支持 4-28 13:44
可能是为了使氧化均匀吧
2楼2009-04-13 14:40:29
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polaris953

金虫 (小有名气)

请问楼上,什么叫氧化均匀?具体什么意思啊?
3楼2009-04-13 16:12:56
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dellon9960

新虫 (正式写手)

老方丈

主要是提高烧结过程中氧分压,氮气一般只是作为保护气氛的,不参与化学反应
阿呆
4楼2009-04-17 20:09:11
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