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polaris953

金虫 (小有名气)

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[交流] 【求助】氮气在Si氧化中的作用

Si氧化时先在氧化炉中通入氮气，然后再通氧气进行氧化，这个氮气具体作用都有哪些啊？

不通氮气，直接通氧气，然后放片子再氧化，可以吗？会有什么差别？

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1楼 2009-04-12 21:27:06

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大雪人

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★
polaris953(金币+1,VIP+0):谢谢支持 4-28 13:44

可能是为了使氧化均匀吧

2楼2009-04-13 14:40:29

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polaris953

金虫 (小有名气)

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请问楼上，什么叫氧化均匀？具体什么意思啊？

3楼2009-04-13 16:12:56

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dellon9960

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主要是提高烧结过程中氧分压，氮气一般只是作为保护气氛的，不参与化学反应

阿呆

4楼2009-04-17 20:09:11

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