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polaris953金虫 (小有名气)
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【求助】氮气在Si氧化中的作用
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Si氧化时先在氧化炉中通入氮气，然后再通氧气进行氧化，这个氮气具体作用都有哪些啊？ 不通氮气，直接通氧气，然后放片子再氧化，可以吗？会有什么差别？ |
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polaris953
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