24小时热门版块排行榜    

查看: 550  |  回复: 4

fanzhitao

新虫 (初入文坛)

[交流] 10um×10um的区域有一层3nm的膜厚,如何检测元素

测过XPS ,但XPS 得检测面积是500um的,过大。想过EPMA ,但网上说EPMA 的检测深度至少0.5um。求解答,谢谢!

发自小木虫Android客户端
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
膜下面的元素知道吗?

发自小木虫IOS客户端
善良
2楼2018-10-25 12:26:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fanzhitao

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wiseroy at 2018-10-25 12:26:30
膜下面的元素知道吗?

知道元素,用AFM 测过形貌,是存在这层膜的,元素表征这块遇到困难,想知道元素和元素分布,但是SEM的EDS 又不大准确。您有好的建议吗?谢谢!

发自小木虫Android客户端
3楼2018-10-25 12:54:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
TEM EELS,不过最好是不太重的元素
4楼2018-10-25 15:12:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fanzhitao

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2018-10-25 15:12:11
TEM EELS,不过最好是不太重的元素

不太重指的是原子质量么?元素的原子质量不大,含量很高。谢谢您的解答!

发自小木虫Android客户端
5楼2018-10-26 00:28:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 fanzhitao 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
信息提示
请填处理意见