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fanzhitao新虫 (初入文坛)
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10um×10um的区域有一层3nm的膜厚，如何检测元素
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测过XPS ，但XPS 得检测面积是500um的，过大。想过EPMA ，但网上说EPMA 的检测深度至少0.5um。求解答，谢谢！ 发自小木虫Android客户端 |
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wiseroy
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2楼2018-10-25 12:26:30
fanzhitao
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