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XRD测不出磁控溅射镀的钽薄膜已有2人参与
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| 通过磁控溅射镀的钽薄膜一直测不出衍射峰，薄膜的厚度有300纳米，应该不是厚度的问题，通过改变功率和退火增大结晶度一直都测不出来，掠入射也试过了不行，急求。 |
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 薄膜制备与特性 |
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3楼2018-10-11 15:21:26
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2楼2018-10-11 15:16:42
4楼2018-10-11 17:37:24
5楼2018-10-11 18:09:50