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wgjcxz

新虫 (小有名气)

[求助] XRD测不出磁控溅射镀的钽薄膜 已有2人参与

通过磁控溅射镀的钽薄膜一直测不出衍射峰,薄膜的厚度有300纳米,应该不是厚度的问题,通过改变功率和退火增大结晶度一直都测不出来,掠入射也试过了不行,急求。
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091820053

禁虫 (知名作家)

本帖内容被屏蔽

2楼2018-10-11 15:16:42
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wgjcxz

新虫 (小有名气)

肯定镀上去了,明显看到有一层薄膜,并且用能谱打了下,是有钽的。

发自小木虫Android客户端
3楼2018-10-11 15:21:26
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kingluck

至尊木虫 (文学泰斗)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果确定测试时样品高度没有问题的话,有可能全部氧化,成为非晶态氧化物薄膜。
4楼2018-10-11 17:37:24
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wgjcxz

新虫 (小有名气)

退火过程中会氧化形成ta2o5,ta2o5的峰能看到,ta在常温下一般不会被氧化,所以不是被氧化了。

发自小木虫Android客户端
5楼2018-10-11 18:09:50
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QQ2668174903

新虫 (文坛精英)

6楼2018-10-11 20:22:38
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wgjcxz

新虫 (小有名气)

7楼2018-10-11 20:37:41
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蜷缩一角

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

1.可能是非晶结构
8楼2018-10-22 08:42:05
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蜷缩一角

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

1.可能是非晶结构
2.或许衍射峰在其他角度,增加扫略角度范围试一下
9楼2018-10-22 08:43:21
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wgjcxz

新虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by 蜷缩一角 at 2018-10-22 08:43:21
1.可能是非晶结构
2.或许衍射峰在其他角度,增加扫略角度范围试一下

我觉得应该还是非晶结构,目前正在调整工艺

发自小木虫Android客户端
10楼2018-10-23 22:56:45
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