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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » XRD测不出磁控溅射镀的钽薄膜
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wgjcxz

新虫 (小有名气)

[求助] XRD测不出磁控溅射镀的钽薄膜 已有2人参与

通过磁控溅射镀的钽薄膜一直测不出衍射峰，薄膜的厚度有300纳米，应该不是厚度的问题，通过改变功率和退火增大结晶度一直都测不出来，掠入射也试过了不行，急求。
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1楼 2018-10-11 13:53:14
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
2楼2018-10-11 15:16:42
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wgjcxz

新虫 (小有名气)
肯定镀上去了，明显看到有一层薄膜，并且用能谱打了下，是有钽的。

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3楼2018-10-11 15:21:26
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kingluck

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果确定测试时样品高度没有问题的话，有可能全部氧化，成为非晶态氧化物薄膜。
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4楼2018-10-11 17:37:24
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wgjcxz

新虫 (小有名气)
退火过程中会氧化形成ta2o5,ta2o5的峰能看到，ta在常温下一般不会被氧化，所以不是被氧化了。

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5楼2018-10-11 18:09:50
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QQ2668174903

新虫 (文坛精英)
用几度角做的？

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6楼2018-10-11 20:22:38
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wgjcxz

新虫 (小有名气)
1度和2度都做了

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7楼2018-10-11 20:37:41
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蜷缩一角

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

1.可能是非晶结构
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8楼2018-10-22 08:42:05
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蜷缩一角

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

1.可能是非晶结构
2.或许衍射峰在其他角度，增加扫略角度范围试一下
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9楼2018-10-22 08:43:21
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wgjcxz

新虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 蜷缩一角 at 2018-10-22 08:43:21
1.可能是非晶结构
2.或许衍射峰在其他角度，增加扫略角度范围试一下

我觉得应该还是非晶结构，目前正在调整工艺

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10楼2018-10-23 22:56:45
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