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请教大神 宏微控制系统中，位置反馈装置为微米级的光栅尺或者亚微米级的激光干涉仪，如何使得机械系统达到纳米级的定位？ 微驱动达到纳米级的分辨率和误差，其位置反馈装置是什么？ 发自小木虫IOS客户端 |
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