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yswza

新虫 (初入文坛)

[求助] 请教大神 如下～ 已有1人参与

请教大神      宏微控制系统中，位置反馈装置为微米级的光栅尺或者亚微米级的激光干涉仪，如何使得机械系统达到纳米级的定位？
微驱动达到纳米级的分辨率和误差，其位置反馈装置是什么？

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1楼 2018-10-09 14:13:12
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wefrom2004

木虫 (小有名气)

洪荒大虫

【答案】应助回帖

测量精度必须比位置控制的目标精度高3-10倍，使用带有实时位置反馈功能的纳米级激光干涉仪
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GOOD
2楼2019-01-06 20:27:39
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