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【求助】磁控溅射镀膜问题
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磁控溅射镀膜（直流电源或者射频电源） 例如镀金膜 有没有溅射功率与膜厚的经验公式？ 如果没有，怎么样控制膜厚呢？ 没有购置膜厚仪。 [ Last edited by ufoer on 2009-4-9 at 14:26 ] |
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