| 查看: 748 | 回复: 2 | ||
[求助]
射频溅射起辉异常
|
|
如题，之前设备的真空计电阻规有问题，换了个新的后用原来的参数起辉，调节射频旋钮时发现，入射功率很小，反射功率很大，调c1，c2无法降低反射，自偏压为零，射频箱面板上电压很小，电流很大，最终没能起辉。请问有可能是什么原因造成的？ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有73人回复
2楼2018-09-25 19:19:46
L小懒虫
木虫 (著名写手)
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 9971.5
- 红花: 4
- 帖子: 1876
- 在线: 95.7小时
- 虫号: 7733703
- 注册: 2018-01-06
- 专业: 金属材料的微观结构
3楼2018-10-08 06:54:41