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射频溅射起辉异常
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如题，之前设备的真空计电阻规有问题，换了个新的后用原来的参数起辉，调节射频旋钮时发现，入射功率很小，反射功率很大，调c1，c2无法降低反射，自偏压为零，射频箱面板上电压很小，电流很大，最终没能起辉。请问有可能是什么原因造成的？ 发自小木虫Android客户端 |
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3楼2018-10-08 06:54:41