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wj0702114081金虫 (正式写手)
学神的奴隶
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[求助]
等离子刻蚀时候样片用什么粘贴在载片上？ 已有1人参与
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晶圆，结构是通孔，用真空泵油粘在载片上。 刻蚀完后片子背面花掉了，应该是泵油涂少了，然后过刻后向没有泵油得地方横向刻蚀了。 但是涂泵油涂太多的话，机器里面会残留好多泵油，要清腔很麻烦。 打算下次背面涂上光刻胶保护一下。 想咨询一下涂泵油有什么手法或技巧吗？ 另外还可以用什么方法粘载片呢？ 之前试过用光刻胶，但是可能是导热不好，表面做mask的光刻胶有时候会糊掉。 |
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3楼2018-09-25 16:40:15
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wj07021140812楼2018-09-25 15:22:14
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4楼2018-10-12 20:43:36