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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 等离子刻蚀时候样片用什么粘贴在载片上？
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

[求助] 等离子刻蚀时候样片用什么粘贴在载片上？ 已有1人参与

晶圆，结构是通孔，用真空泵油粘在载片上。
刻蚀完后片子背面花掉了，应该是泵油涂少了，然后过刻后向没有泵油得地方横向刻蚀了。
但是涂泵油涂太多的话，机器里面会残留好多泵油，要清腔很麻烦。
打算下次背面涂上光刻胶保护一下。
想咨询一下涂泵油有什么手法或技巧吗？

另外还可以用什么方法粘载片呢？
之前试过用光刻胶，但是可能是导热不好，表面做mask的光刻胶有时候会糊掉。
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1楼 2018-09-25 13:38:15
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zsnano

金虫 (正式写手)
你可以用高温腊，对刻蚀通孔好，对腔体不污染

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wj0702114081
2楼2018-09-25 15:22:14
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wj0702114081: 金币+10, ★★★★★最佳答案, 谢谢，我是牛津的刻蚀机，在我们这台主要刻硅基。 2018-10-12 20:43:23
这要看你的ICP刻蚀机，有些刻蚀机只能用硅油，有些可以用高温蜡。
横向刻蚀的地方，不一定是没有油引起的。过刻的情况下，本身就会有footing。这主要是由于越刻到底部，钝化层的覆盖越不好造成的。
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3楼2018-09-25 16:40:15
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by zsnano at 2018-09-25 15:22:14
你可以用高温腊，对刻蚀通孔好，对腔体不污染

谢谢
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Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
4楼2018-10-12 20:43:36
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