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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 反应烧结碳化硅细裂纹问题
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神奇小旋风

银虫 (正式写手)

[求助] 反应烧结碳化硅细裂纹问题 已有1人参与

各位大神，最近我做的反应经过烧结碳化硅出现了细裂纹的问题。试样不经过抛光看不到细裂纹，裂纹没有看到硅线，说明是渗硅结束后产生的，试过不经碱处理直接磨加工抛光，仍然有裂纹现象，说明和碱处理关系不大。有时磨浅一些有，但没有磨深的时候多，出现了细裂纹再磨深一些又没有了。裂纹很细，有时是一条线，有时呈人字形，极个别的有网裂的现象。不是每个试样都有此问题，大概占40%~50%左右。配方也改变了很多次，仍然有此缺陷，大家觉得还可能是什么原因呢？
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你如果不好意思，那我也不好意思；你如果好意思，那不好意思，我更好意思……
1楼 2018-09-25 08:39:43
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googo3300

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
神奇小旋风: 金币+5, ★有帮助 2018-09-27 08:25:42
考虑晶粒长大造成的
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2楼2018-09-26 20:24:13
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googo3300

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 神奇小旋风 at 2018-09-27 08:25:06
渗硅温度不高啊，才1480℃，保温时间也不长，晶粒能长多大呢？...

做一下XRD看看，还有就是冷却速度怎么样呢？会不会是热振造成的
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4楼2018-10-01 19:45:30
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神奇小旋风

银虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by googo3300 at 2018-09-26 20:24:13
考虑晶粒长大造成的

渗硅温度不高啊，才1480℃，保温时间也不长，晶粒能长多大呢？
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3楼2018-09-27 08:25:06
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天涯子时

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
5楼2018-10-03 20:37:26
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神奇小旋风

银虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 天涯子时 at 2018-10-03 20:37:26
毛坯密度减一点

我试过素坯控制在1.7~2.1之间，试出来还是有细裂，比例差不多。
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6楼2018-10-04 08:32:22
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天涯子时

禁虫 (初入文坛)
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7楼2018-10-04 09:56:11
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神奇小旋风

银虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 天涯子时 at 2018-10-04 09:56:11
硅片比例减少

我是按照产品：Si片（质量比）1:1.5，你是什么样的比例呢？
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你如果不好意思，那我也不好意思；你如果好意思，那不好意思，我更好意思……
8楼2018-10-05 12:23:28
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天涯子时

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
9楼2018-10-06 09:12:23
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神奇小旋风

银虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by googo3300 at 2018-10-01 19:45:30
做一下XRD看看，还有就是冷却速度怎么样呢？会不会是热振造成的...

XRD看什么？碳和硅的反应情况？保温结束后随炉冷却到室温。
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你如果不好意思，那我也不好意思；你如果好意思，那不好意思，我更好意思……
10楼2018-10-24 14:32:03
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