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神奇小旋风

银虫 (正式写手)

[求助] 反应烧结碳化硅细裂纹问题已有1人参与

各位大神,最近我做的反应经过烧结碳化硅出现了细裂纹的问题。试样不经过抛光看不到细裂纹,裂纹没有看到硅线,说明是渗硅结束后产生的,试过不经碱处理直接磨加工抛光,仍然有裂纹现象,说明和碱处理关系不大。有时磨浅一些有,但没有磨深的时候多,出现了细裂纹再磨深一些又没有了。裂纹很细,有时是一条线,有时呈人字形,极个别的有网裂的现象。不是每个试样都有此问题,大概占40%~50%左右。配方也改变了很多次,仍然有此缺陷,大家觉得还可能是什么原因呢?
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你如果不好意思,那我也不好意思;你如果好意思,那不好意思,我更好意思……
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googo3300

木虫 (正式写手)

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3楼: Originally posted by 神奇小旋风 at 2018-09-27 08:25:06
渗硅温度不高啊,才1480℃,保温时间也不长,晶粒能长多大呢?...

做一下XRD看看,还有就是冷却速度怎么样呢?会不会是热振造成的
4楼2018-10-01 19:45:30
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googo3300

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
神奇小旋风: 金币+5, 有帮助 2018-09-27 08:25:42
考虑晶粒长大造成的
2楼2018-09-26 20:24:13
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神奇小旋风

银虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by googo3300 at 2018-09-26 20:24:13
考虑晶粒长大造成的

渗硅温度不高啊,才1480℃,保温时间也不长,晶粒能长多大呢?
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3楼2018-09-27 08:25:06
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天涯子时

禁虫 (初入文坛)

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5楼2018-10-03 20:37:26
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神奇小旋风

银虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 天涯子时 at 2018-10-03 20:37:26
毛坯密度减一点

我试过素坯控制在1.7~2.1之间,试出来还是有细裂,比例差不多。
你如果不好意思,那我也不好意思;你如果好意思,那不好意思,我更好意思……
6楼2018-10-04 08:32:22
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天涯子时

禁虫 (初入文坛)

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7楼2018-10-04 09:56:11
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神奇小旋风

银虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 天涯子时 at 2018-10-04 09:56:11
硅片比例减少

我是按照产品:Si片(质量比)1:1.5,你是什么样的比例呢?
你如果不好意思,那我也不好意思;你如果好意思,那不好意思,我更好意思……
8楼2018-10-05 12:23:28
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天涯子时

禁虫 (初入文坛)

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9楼2018-10-06 09:12:23
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神奇小旋风

银虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by googo3300 at 2018-10-01 19:45:30
做一下XRD看看,还有就是冷却速度怎么样呢?会不会是热振造成的...

XRD看什么?碳和硅的反应情况?保温结束后随炉冷却到室温。
你如果不好意思,那我也不好意思;你如果好意思,那不好意思,我更好意思……
10楼2018-10-24 14:32:03
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