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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 生长200 nm的Mg薄膜是否可行？
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知夏爱夏天

金虫 (小有名气)

[求助] 生长200 nm的Mg薄膜是否可行？

目前有个任务是要在一个东西上面生长200 nm的金属Mg薄膜，方法是溅射，问题在于：Mg不是很容易氧化吗，然后生长的氧化物也很疏松，溅射以后腔里的Mg颗粒也比较危险，温度一高容易燃烧，所以想请问，溅射这个Mg膜是不是可行的 ，或者有没有其他方法可以生长200nm的膜呢？
科研小白，初次提问，请多多指教？ 问的问题可能不专业，也请担待和包含。

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1楼 2018-09-21 17:13:07
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知夏爱夏天

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wonderfulll at 2018-09-21 18:06:43
电化学还原沉积在电极表面是否可行，你的“一个东西”是不是导电的啊

目前这边的设备只有溅射的机器，用于微电子工艺的，没有化学方面的，像您说的那种。材料看起来也不导电，长在了硅片上。

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3楼2018-09-21 18:57:36
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wonderfulll

至尊木虫 (文坛精英)
电化学还原沉积在电极表面是否可行，你的“一个东西”是不是导电的啊

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2楼2018-09-21 18:06:43
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wanghua888

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
4楼2019-02-28 23:12:02
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