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生长200 nm的Mg薄膜是否可行?
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目前有个任务是要在一个东西上面生长200 nm的金属Mg薄膜,方法是溅射,问题在于:Mg不是很容易氧化吗,然后生长的氧化物也很疏松,溅射以后腔里的Mg颗粒也比较危险,温度一高容易燃烧,所以想请问,溅射这个Mg膜是不是可行的 ,或者有没有其他方法可以生长200nm的膜呢? 科研小白,初次提问,请多多指教? 问的问题可能不专业,也请担待和包含。 发自小木虫IOS客户端 |
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薄膜制备与特性 |
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