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guoxingnann
新虫
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小弟最近开始做黑硅,但是总是在制绒后硅片表面不光滑,凹凸不平,有什么东西可以减缓这种情况,使硅片更平滑
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1楼
2018-09-20 19:32:26
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czcdxmc
木虫
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有利用金属微掩膜,使用干法做的,不知效果如何
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15楼
2018-09-27 07:19:15
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czcdxmc
木虫
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又要做绒,又要求平滑。不矛盾吗?
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12楼
2018-09-20 19:44:45
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czcdxmc
木虫
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是用干法做的吗?
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13楼
2018-09-20 20:01:46
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guoxingnann
新虫
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13楼
:
Originally posted by
czcdxmc
at 2018-09-20 20:01:46
是用干法做的吗?
是湿法,碱抛的,按说出来的金字塔应该相对均匀,但是我抛出来的偏大,而且很多坑
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14楼
2018-09-26 21:39:25
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tzynew
11楼
2018-09-20 19:35
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hdchina2010
5楼
2018-09-20 19:33
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YueChuZeBei
10楼
2018-09-20 19:34
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景景--
6楼
2018-09-20 19:33
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og7865974
2楼
2018-09-20 19:32
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cfh546427
4楼
2018-09-20 19:32
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i4s152366
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kch797407
7楼
2018-09-20 19:34
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k6x953419
8楼
2018-09-20 19:34
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r0b159718
9楼
2018-09-20 19:34
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